成都滲源科技助力思瑞浦微電子 SYS-II-30L超純水系統(tǒng)成功投運(yùn)

近日，成都滲源科技有限公司為思瑞浦微電子技術(shù)(蘇州)有限公司成功安裝SYS-II-30L實(shí)驗(yàn)室超純水系統(tǒng)，為這家專(zhuān)業(yè)集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)提供了符合半導(dǎo)體級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的超純水解決方案。

思瑞浦微電子在高性能模擬芯片研發(fā)過(guò)程中，對(duì)晶圓清洗、測(cè)試等環(huán)節(jié)的超純水質(zhì)量要求極為嚴(yán)苛。針對(duì)微電子行業(yè)對(duì)TOC、顆粒物和金屬離子的特殊要求，滲源科技設(shè)計(jì)的SYS-II-30L系統(tǒng)采用"雙級(jí)反滲透+純化柱"工藝，產(chǎn)水電阻率穩(wěn)定達(dá)到18.2MΩ·cm（25℃），電導(dǎo)率達(dá)1-5μs/cm，微顆粒物≤1個(gè)/mL，完全滿(mǎn)足芯片研發(fā)實(shí)驗(yàn)室的精密用水需求。

該系統(tǒng)配備全封閉真空壓力儲(chǔ)水桶，有效保證純水、超純水水質(zhì)，最大限度降低污染風(fēng)險(xiǎn)。滲源工程師團(tuán)隊(duì)針對(duì)華東地區(qū)水質(zhì)特點(diǎn)，優(yōu)化了預(yù)處理單元和系統(tǒng)運(yùn)行參數(shù)。智能控制系統(tǒng)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)多項(xiàng)關(guān)鍵水質(zhì)指標(biāo)，確保每一滴超純水都符合標(biāo)準(zhǔn)。

此次合作彰顯了滲源科技在半導(dǎo)體領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力。公司將持續(xù)為集成電路行業(yè)提供更專(zhuān)業(yè)、更可靠的超純水解決方案，助力芯片產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。