在水中，將距離1cm的兩片表面積為1cm2大小的電極加以通電，來(lái)監(jiān)測(cè)兩極間的導(dǎo)電率，通過(guò)所加電壓和測(cè)得的電流能夠獲知兩極間的電阻值，這個(gè)數(shù)值在水質(zhì)分析中通常被稱為電阻率或比電阻，其單位用MΩ.cm(mega ohm-centimeter)來(lái)表示。電阻率的倒數(shù)稱為導(dǎo)電率或電導(dǎo)率，用μs/cm(micro Siemens per centimeter)來(lái)表示。這兩個(gè)參數(shù)是表示水的純度的zui常用參數(shù)。

將自來(lái)水中的離子去除，會(huì)使得電阻率值升高(導(dǎo)電率降低)，單并非無(wú)限制的增加，這是因?yàn)椴糠炙肿訒?huì)電離為氫離子和氫氧根離子，其電阻率值極限值18.248MΩ.cm(25°C)。此外，電阻率值會(huì)隨著水的電離常數(shù)而改變，因而會(huì)受到水溫的影響。例如，25°C的超純水，其電阻值為18.2MΩ.cm,但在0°C則為84.2MΩ.cm, 100 °C則為1.3MΩ.cm。在25 °C附近，當(dāng)溫度上升1 °C，其電阻值將下降0.84MΩ.cm。因此，多使用補(bǔ)償至25°C的電阻率值來(lái)做衡量標(biāo)準(zhǔn)。

此外像總有機(jī)炭含量(TOC)，熱源內(nèi)毒素含量，細(xì)菌含量，顆粒含量，微生物含量，總?cè)芙夤腆w含量(TDS)等也常常被用作補(bǔ)充說(shuō)明水質(zhì)的重要參數(shù)。因此，水的純度標(biāo)準(zhǔn)通常由以上這些參數(shù)的一項(xiàng)或幾項(xiàng)來(lái)綜合說(shuō)明、分級(jí)。