近日，成都滲源科技有限公司為上海櫟智半導體科技有限公司成功安裝SYEL-LI-250L實驗室超純水機，為半導體行業(yè)精密制造與研發(fā)提供高標準超純水保障。

上海櫟智半導體科技有限公司在芯片制造、晶圓清洗及半導體材料研發(fā)過程中，對超純水的電阻率、TOC（總有機碳）含量及微顆?？刂朴兄鴺O其嚴苛的要求。針對半導體行業(yè)對痕量雜質(zhì)、離子殘留及微生物控制的特殊需求，滲源科技設(shè)計的SYEL-LI-250L超純水機采用“多級預處理+雙級反滲透+EDI+純化罐”集成工藝，產(chǎn)水水質(zhì)達到半導體行業(yè)一級標準，電阻率穩(wěn)定≥18.2MΩ·cm@25℃，TOC含量≤10ppb，微顆粒物≤1個/ml，完全滿足晶圓清洗、光刻膠稀釋及高精度蝕刻等工藝的用水需求。

該設(shè)備配備250升大容量儲水系統(tǒng)，采用全自動運行設(shè)計，配備智能監(jiān)控功能，實時顯示水質(zhì)參數(shù)。滲源技術(shù)團隊根據(jù)半導體潔凈車間環(huán)境特點，優(yōu)化了設(shè)備防污染方案，并對操作人員進行了專業(yè)培訓。

此次合作進一步拓展了滲源科技在半導體行業(yè)的服務能力。公司將持續(xù)為半導體企業(yè)提供可靠、智能的超純水解決方案，助力提升產(chǎn)品良率與技術(shù)創(chuàng)新。