成都滲源科技助力西安晟光硅研半導體 SYZ-20L超純水系統(tǒng)成功投運

近日，成都滲源科技有限公司為西安晟光硅研半導體科技有限公司再次定制安裝的SYZ-20L實驗室超純水系統(tǒng)正式投入使用，為這家專業(yè)半導體材料研發(fā)企業(yè)提供了符合行業(yè)標準的超純水解決方案。

西安晟光硅研在半導體晶圓制備、材料表征等關鍵工藝環(huán)節(jié)對超純水質(zhì)量要求極為嚴苛。針對半導體行業(yè)對TOC、顆粒物和金屬離子的特殊要求，滲源科技設計的SYZ-20L系統(tǒng)采用"雙級反滲透+多通道"純化工藝，產(chǎn)水電阻率穩(wěn)定達到18.25MΩ·cm（25℃）（在線監(jiān)測），TOC含量≤20ppb，微顆粒物≤1個/mL，完全滿足半導體材料清洗、蝕刻等精密工藝的用水需求。

該系統(tǒng)具備終端微濾單元，保證使用水質(zhì)的可靠性。滲源工程師團隊針對西北地區(qū)水質(zhì)特點，強化了預處理單元，并優(yōu)化了系統(tǒng)運行參數(shù)。智能控制系統(tǒng)可實時監(jiān)測電導率、電阻率等關鍵水質(zhì)指標，確保每一滴超純水都符合相關標準。

此次合作彰顯了滲源科技在半導體領域的技術實力。公司將持續(xù)為半導體行業(yè)提供更專業(yè)、更可靠的超純水解決方案，助力中國半導體材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。