成都滲源科技助力晟光硅研半導體SYR-100L純水系統(tǒng)成功投運

近日，成都滲源科技有限公司為西安晟光硅研半導體科技有限公司完成SYR-100L實驗室純水系統(tǒng)的安裝調試，為這家專業(yè)半導體材料企業(yè)提供了符合行業(yè)標準的純水解決方案。

晟光硅研在半導體晶圓制備、材料檢測等關鍵工藝環(huán)節(jié)對純水質量要求極為嚴苛。針對半導體行業(yè)對金屬離子、TOC和顆粒物的特殊控制要求，滲源科技專業(yè)設計的SYR-100L系統(tǒng)采用"預處理+雙級反滲透"純化工藝，產(chǎn)水電導率穩(wěn)定達到1-5μs/cm，完全滿足半導體材料清洗、蝕刻等工藝的用水需求。

該純水系統(tǒng)具備三大核心優(yōu)勢：

1. 100L大容量儲水設計，滿足連續(xù)生產(chǎn)用水需求；
2. 采用四級預處理裝置，有效去除粒物質、鐵、錳、余氯、鈣、鎂及吸附有機物、異味等;
3. 雙級反滲透工藝，適應各種復雜的源水狀況，有效穩(wěn)定產(chǎn)水品質;

滲源科技工程師團隊根據(jù)半導體車間環(huán)境特點，優(yōu)化了設備布局和管路走向，并對操作人員進行了專業(yè)培訓。此次合作不僅解決了晟光硅研的生產(chǎn)用水需求，也為后續(xù)深度合作奠定了基礎。成都滲源科技將持續(xù)為半導體行業(yè)提供更專業(yè)的純水解決方案，助力中國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。