近日，成都滲源科技有限公司為西安晟光硅研半導(dǎo)體科技有限公司成功安裝SYZ-V-20L實驗室超純水機，為企業(yè)半導(dǎo)體材料研發(fā)與檢測工作提供高標準水質(zhì)保障。

西安晟光硅研半導(dǎo)體科技在硅材料提純、晶圓清洗、半導(dǎo)體器件制備等工藝研發(fā)中，對超純水水質(zhì)有著極為嚴苛的要求。針對半導(dǎo)體行業(yè)對超低離子、超低顆粒、超低TOC的特殊需求，滲源科技設(shè)計的SYZ-V-20L超純水機采用"多級預(yù)處理+雙級反滲透+紫外滅菌"集成工藝，產(chǎn)水電阻率達18.25MΩ·cm@25℃，總有機碳含量≤10ppb，微顆粒物≤1個/mL，完全滿足高效液相色譜(HPLC)、總有機碳分析儀(TOC)、氣體檢測儀（VOC）等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)、PCR儀、離子色譜儀(IC),試管嬰兒(IVF)等實驗用水需求。

該設(shè)備配備20升儲水系統(tǒng)，采用高潔凈密閉設(shè)計，配備智能化監(jiān)控系統(tǒng)實時顯示水質(zhì)參數(shù)，具備異常報警功能。滲源技術(shù)團隊根據(jù)半導(dǎo)體潔凈室環(huán)境要求，優(yōu)化了設(shè)備的防塵防靜電方案，并對操作人員進行了潔凈操作培訓(xùn)。

此次合作進一步彰顯了滲源科技在半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)服務(wù)能力。公司將持續(xù)為半導(dǎo)體企業(yè)提供專業(yè)可靠的高純度水解決方案，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新與工藝提升。