超純水的“超純”不僅遠(yuǎn)超日常飲用水，更顯著區(qū)別于醫(yī)藥行業(yè)的“純化水”或?qū)嶒?yàn)室“去離子水”。其近乎“本征”的純凈度使其成為現(xiàn)代高精尖產(chǎn)業(yè)不可或缺的原材料。

核心指標(biāo)包括：

1、電阻率：25℃下達(dá)到18.25 MΩ·cm（極限理論值），實(shí)際應(yīng)用中要求≥18.0 MΩ·cm，表明其導(dǎo)電離子幾乎被完全去除。

2、顆粒物控制：≤100個(gè)/L（要求每升水中，符合特定尺寸條件的顆粒物數(shù)量不能超過(guò)100個(gè)。對(duì)于特定尺寸如≥0.05 μm（直徑0.05微米）的顆粒要求更高。

3、溶解氧：低至ppb級(jí)或更低。

4、微生物：<1 CFU/100mL（每100毫升樣品中微生物少于1個(gè)真菌計(jì)量的單位：CFU）或趨向于“零”（零微生物）。

5、特定離子濃度：如硅、鈉、氯離子、硫酸根等被控制在極低ppb或ppt（萬(wàn)億分之一）級(jí)。

其關(guān)鍵應(yīng)用領(lǐng)域便是半導(dǎo)體與集成電路制造中的晶圓清洗：超純水必須在數(shù)十甚至數(shù)百次清洗中去除細(xì)微顆粒、金屬離子、有機(jī)殘留等污染物，避免導(dǎo)致線路短路、斷路或影響器件性能。

其次便是平板顯示行業(yè)：用于TFT-LCD、OLED玻璃基板的清洗與蝕刻工藝。屏幕越大，缺陷容忍度越低，對(duì)超純水的潔凈度要求越高，對(duì)顆粒尤其是納米級(jí)顆粒、TOC、金屬離子的控制極其嚴(yán)格。